[发明专利]一种多光场调制的三维形貌测量方法有效
申请号: | 201711370231.1 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN108120393B | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 何渝;唐燕;刘俊伯;杜婧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种多光场调制的三维形貌测量方法,待测三维物体的衍射光场与参考光场干涉形成原始全息条纹,两束调制光束干涉形成干涉条纹,原始全息条纹与调制光干涉条纹发生非相干叠加后由光电探测器采集,通过解调算法从采集得到的条纹图像中解调出原始全息条纹,再通过数字全息重建算法恢复出待测三维物体形貌,实现对三维形貌的测量。本发明中通过调制光场的引入将原始全息条纹的高频信息调制为能够被探测器采集的低频信息,然后通过算法解调出原始高频信息,在使用相同分辨率探测器情况下能够提高三维形貌测量的分辨率。 | ||
搜索关键词: | 一种 多光场 调制 三维 形貌 测量方法 | ||
【主权项】:
一种多光场调制的三维形貌测量方法,其特征在于:所述的三维形貌测量方法中待测三维物体的衍射光场与参考光场干涉形成原始全息条纹,两束调制光束干涉形成干涉条纹,原始全息条纹与调制光干涉条纹发生非相干叠加后由光电探测器采集,通过解调算法从采集得到的条纹图像中解调出原始全息条纹,再通过数字全息重建算法恢复出待测三维物体形貌,实现对三维形貌的测量;采用的调制光场将原始全息条纹的高频信息调制为能够被探测器采集的低频信息,然后通过算法解调出原始高频信息,在使用相同分辨率探测器情况下提高三维形貌测量的分辨率。
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