[发明专利]热式流量计、流量处理装置以及热式流量测量方法有效

专利信息
申请号: 201711360215.4 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN108572017B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 村松崇 申请(专利权)人: 欧姆龙株式会社
主分类号: G01F1/69 分类号: G01F1/69;G01F1/696
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;臧建明
地址: 日本京都府京都市下京区*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供热式流量计、流量处理装置以及热式流量测量方法,即使在流体的种类不同的情况下,也可简单地检测其流量。热式流量计包括:第1电阻体(R1),配置在流体流经的流路中,受到通电而发热,并输出表示发热温度的第1输出信号;第2电阻体(R2),在流路中配置于与第1电阻体不同的位置,并输出表示流体温度的第2输出信号;以及通电部,对第1电阻体进行通电,以使第1输出信号表示预定温度,且所述热式流量计决定一参数,并使用参数、决定此参数后所检测出的差分及预定的函数,来获取流量,所述参数用于将在进行通电的情况下受理预定的输入时的第1输出信号与第2输出信号之间的差分转换为目标值。
搜索关键词: 流量计 流量 处理 装置 以及 测量方法
【主权项】:
1.一种热式流量计,其特征在于包括:第1电阻体,配置在流体流经的流路中,受到通电而发热,并输出表示发热温度的第1输出信号;第2电阻体,在所述流路中配置在与所述第1电阻体不同的位置,并输出表示所述流体的温度的第2输出信号;通电部,对所述第1电阻体进行通电,以使所述第1输出信号表示预定温度;输出电路,输出基于从所述第1电阻体输出的第1输出信号与从所述第2电阻体输出的第2输出信号之间的差分的与所述流体的流量相关的信号;以及运算部,所述运算部包括:参数决定部,决定参数,所述参数用于将在进行所述通电的情况下受理预定的输入时检测出的所述差分转换为目标值;以及流量获取部,使用所述参数、决定所述参数后检测出的所述差分及预定的函数,来获取所述流量。
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  • 一种热式气体流量传感器及其制备方法-201710548164.1
  • 王家畴;薛丹;李昕欣 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 2017-07-06 - 2020-12-18 - G01F1/69
  • 本发明提供一种热式气体流量传感器及其制备方法,结构包括:衬底,包括凹槽,开设于衬底上表面;第一介质膜,位于凹槽上方,包括若干个第一介质膜单元及槽型结构,第一介质膜单元与衬底相连接,槽型结构贯穿第一介质膜且位于相邻第一介质膜单元之间,第一介质膜与衬底围成一个隔热腔体;电阻组件,包括至少一个加热单元和至少两个热敏单元,每个加热单元与每个热敏单元位于不同的第一介质膜单元上,热敏单元位于加热单元的两侧。通过上述技术方案,本发明的热式气体流量传感器的加热电阻的热量与衬底彻底隔离,降低了加热电阻热损耗,提高了气体流量的检测灵敏度和响应时间;采用单硅片单面体硅微机械工艺制作,结构尺寸小,成本低、工艺简单。
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