[发明专利]一种集成电路连线可靠性检测方法及装置在审
| 申请号： | 201711342530.4 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109959855A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王小乐;江文 | 申请（专利权）人： | 炬芯（珠海）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市唐*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种集成电路连线可靠性检测方法及装置。该方法包括：确定待检测信号，以及所述待检测信号使用的集成电路金属层；确定所述集成电路金属层中相关联的金属层之间的交叠区中连接层的面积与所述交叠区总面积的比例；根据所述比例以及所述待检测信号对应的连接层占比阈值，确定所述待检测信号在所述集成电路中的连线可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 待检测信号 连线 集成电路 集成电路金属 可靠性检测 交叠区 连接层 金属层 关联 申请 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路连线可靠性检测方法，其特征在于，包括：确定待检测信号，以及所述待检测信号使用的集成电路金属层；确定所述集成电路金属层中相关联的金属层之间的交叠区中连接层的面积与所述交叠区总面积的比例；根据所述比例以及所述待检测信号对应的连接层占比阈值，确定所述待检测信号在所述集成电路中的连线可靠性。
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