[发明专利]一种制冷CCD真空杜瓦密封装置有效
| 申请号： | 201711329840.2 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108087555B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 聂山钧;王明富;高晓东;廖靖宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | F16J15/28 | 分类号： | F16J15/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制冷CCD真空杜瓦密封装置，包括底座、上盖、螺杆、弹簧、橡胶圈及杜瓦。将真空计和真空泵连接到底座上；杜瓦内部器件组装好后，将杜瓦底座和杜瓦上盖放置在底座中，用弹簧将杜瓦上盖撑起使之与杜瓦底座之间留有一定的间隙；螺杆与上盖用橡胶圈设计为动密封，然后用橡胶圈将上盖与底座进行密封；用真空泵将腔体抽真空，预排气一段时间后通过螺杆拧紧杜瓦上的紧固螺栓，以此用银丝将杜瓦上盖与杜瓦底座进行密封，从而保证杜瓦内部的高真空度。该密封方式具有结构简单、漏率低且可拆卸的优点。该系统适用于制冷型CCD相机制冷领域。 | ||
| 搜索关键词： | 杜瓦 底座 上盖 橡胶圈 制冷CCD 弹簧 螺杆 密封 腔体抽真空 真空泵连接 制冷型CCD 高真空度 紧固螺栓 可拆卸的 密封方式 内部器件 制冷领域 动密封 螺杆拧 真空泵 真空计 撑起 漏率 排气 银丝 相机 组装 保证 | ||
【主权项】：
1.一种制冷CCD真空杜瓦密封装置，其特征在于：包括杜瓦底座(1)、装置底座(2)、上盖(4)、螺杆(5)、螺栓(6)、橡胶圈(7)、弹簧(8)、杜瓦上盖(9)和银丝密封圈(10)，杜瓦底座(1)、银丝密封圈(10)和杜瓦上盖(9)放置于装置底座(2)中，装置底座(2)将杜瓦底座(1)和杜瓦上盖(9)水平方向固定；用弹簧(8)将杜瓦上盖(9)顶起一定的距离，使杜瓦内部与外部连通以进行排气；然后用橡胶圈(7)将上盖(4)和装置底座(2)密封起来；在真空泵接口(401)连接真空泵将腔体内抽真空，通过真空计接口(402)处连接的真空计监测装置内的压强；当腔体内压强达到0.001Pa以下后排气一段时间，最后用力矩扳手通过螺杆(5)将杜瓦上的螺栓拧紧，对杜瓦进行密封，银丝密封圈(10)可保证杜瓦的漏率相较于杜瓦内部器件的放气量忽略不计，从而在杜瓦内吸气剂的作用下保证杜瓦内部的高真空度。/n
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