[发明专利]一种烧结装置

摘要

本申请公开了一种烧结装置，包括烧结炉、真空系统、进气系统、过滤系统，所述烧结炉用于容纳待烧结物料，并对物料进行加热烧结；所述真空系统与所述烧结炉相连通，用于提供烧结炉内的真空环境；所述进气系统与所述烧结炉相连通，用于向所述烧结炉内通入烧结反应所需的气体；所述过滤系统设置在所述烧结炉与所述真空系统之间，所述烧结炉排出的气体，经所述过滤系统过滤后再进入所述真空系统中。本申请提供的烧结装置，尤其适用于碳化硅的烧结，对反应炉内排出的气体进行过滤净化，提高烧结炉的烧结质量的同时，能够避免污染物对真空系统的影响，维持烧结过程中气压的稳定。

主权项

1.一种烧结装置，其特征在于，包括烧结炉(1)、真空系统(2)、进气系统(3)、过滤系统(4)，所述烧结炉(1)用于容纳待烧结物料，并对物料进行加热烧结；所述真空系统(2)与所述烧结炉(1)相连通，用于提供烧结炉(1)内的真空环境；所述进气系统(3)与所述烧结炉(1)相连通，用于向所述烧结炉(1)内通入烧结反应所需的气体；所述过滤系统(4)设置在所述烧结炉(1)与所述真空系统(2)之间，所述烧结炉(1)排出的气体，经所述过滤系统(4)过滤后再进入所述真空系统(2)中。