[发明专利]能够抑制闪弧的多间隙赝火花电子束源有效
申请号: | 201711282084.2 | 申请日: | 2017-12-07 |
公开(公告)号: | CN108063079B | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 霍卫杰;胡静;赵万生 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | H01J17/02 | 分类号: | H01J17/02;H01J17/06 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人: | 王毓理;王锡麟 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种能够抑制闪弧的多间隙赝火花电子束源,包括:依次连接的盲法兰、陶瓷隔离套和通孔法兰、对称放置于陶瓷隔离套内部两端的空心电极及其绝缘套、陶瓷隔离套中交替叠加的中间电极和中间绝缘片,其中:位于两端的空心电极及其绝缘套和位于中间的用于电子束聚焦和加速的中间电极构成放电腔体。本发明获得可有效抑制闪弧的多级赝火花电子束源,从而得到高能量的电子束。本发明的多级赝火花电子束源通过采用保护金属极片边缘、切断或阻碍沿面闪弧的形成而有效抑制赝火花放电过程中的异常放电,提高电子束的能量,提高放电的稳定性和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 能够 抑制 间隙 火花 电子束 | ||
【主权项】:
1.一种能够抑制闪弧的多间隙赝火花电子束源,其特征在于,包括:依次连接的盲法兰、陶瓷隔离套和通孔法兰、对称放置于陶瓷隔离套内部两端的空心电极及其绝缘套、陶瓷隔离套中交替叠加的中间电极和中间绝缘片,其中:位于两端的空心电极及其绝缘套和位于中间的用于电子束聚焦和加速的中间电极构成放电腔体,绝缘套包围空心电极的同时将阴极或阳极极片边缘隔离;所述的绝缘套的底部设有作为放电间隙的中间通孔,绝缘套面向中间电极的一侧设有同轴沉孔。
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