[发明专利]具有微圆锥台基底的压阻式柔性触觉传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201711268129.0 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108007617A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 汪延成;朱凌锋;梅德庆;武欣;朱皖东 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有微圆锥台基底的压阻式柔性触觉传感器及其制造方法。由从上至下依次的柔性薄膜基底、电极阵列、石墨烯薄膜阵列、微圆锥台基底层叠而成，石墨烯薄膜阵列由石墨烯薄膜片阵列排布而成，电极阵列由条状电极组成；电极阵列与石墨烯薄膜阵列紧密贴合，每个石墨烯薄膜片表面的两侧布置有条状电极，由两个条状电极相连形成闭合回路；制造方法包括柔性薄膜基底与电极阵列的制造、石墨烯薄膜阵列的制备与刻蚀、硅模具与微圆锥台基底的制造以及柔性触觉传感器的贴合装配等。本发明利用微圆锥台基底作为石墨烯薄膜的支撑，受力时产生更大的形变和电阻变化，提高了传感器的灵敏度，解决了石墨烯薄膜与电极之间的连接可靠性问题。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 圆锥 基底 压阻式 柔性 触觉 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有微圆锥台基底的压阻式柔性触觉传感器，其特征在于：所述柔性触觉传感器主要由柔性薄膜基底(1)、电极阵列(2)、石墨烯薄膜阵列(3)和微圆锥台基底(4)从上至下依次层叠而成，柔性薄膜基底(1)作为电极支撑，微圆锥台基底(4)作为底部支撑并且用于接收外部力刺激。
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