[发明专利]基于微波信号的非接触式导电薄膜方块电阻测量方法

摘要

本发明公开了一种基于微波信号的非接触式导电薄膜方块电阻测量方法，包括如下步骤：选取方块电阻值稳定的样品作为校准样品；测量校准样品的方块电阻、散射参数特性；依据校准样品测试数据获得金属薄膜散射参数‑方块电阻关系曲线；测量待测样品的散射参数特性；依据薄膜散射参数‑方块电阻关系曲线和待测样品的散射参数计算得到待测样品的薄膜方块电阻。本发明实现无损测量导电薄膜方块电阻，而且能广泛应用于集成电路、太阳能电池、探测器等领域，具有一定的普适性。

主权项

1.一种基于微波信号的非接触式导电薄膜方块电阻测量方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在非导电基体上沉积导电薄膜，获得待测样品；(2)选取方块电阻值已知的若干样品作为校准样品；将校准样品置于微波传感器中，通过测量微波传感器的散射参数，获得该微波传感器的方块电阻-散射参数关系曲线或建立查找表；(3)将待测样品放入微波传感器中替换校准样品，测量微波传感器相应的散射参数；(4)依据步骤(2)中获得的方块电阻-散射参数关系曲线或查找表和步骤(3)中的待测样品散射参数，计算获得待测样品方块电阻值。