[发明专利]一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置

摘要

本发明提供一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，包括点阵式压电薄膜传感器、信号发生器和信号采集分析处理模块，点阵式压电薄膜传感器具有至少一个气体通道，每个气体通道具有多个压电薄膜，多个压电薄膜整合排布在基底上以构成一个点阵式传感器组，压电薄膜采用声子晶体材料制成，且在其内表面涂抹有能够吸附待测气体的敏感材料；信号发生器连接点阵式压电薄膜传感器；信号采集分析处理模块连接点阵式压电薄膜传感器。本发明通过采用点阵式结构的压电薄膜传感器来聚焦信号发生器产生的谐振波，放大信号发生器产生的振幅和频率，提高检测的准确性，且可应用于不同领域不同类别气体的检测，其灵敏度高，应用范围广。

主权项

一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置，其特征在于：包括点阵式压电薄膜传感器，所述点阵式压电薄膜传感器具有至少一个气体通道，每个气体通道具有多个压电薄膜，所述多个压电薄膜整合排布在基底上以构成一个点阵式传感器组，所述压电薄膜采用声子晶体材料制成，且在其内表面涂抹有能够吸附待测气体的敏感材料；信号发生器，连接所述点阵式压电薄膜传感器，并向所述点阵式压电薄膜传感器发出激励以使点阵式压电薄膜传感器产生谐振波；信号采集分析处理模块，连接所述点阵式压电薄膜传感器，用以获取所述点阵式压电薄膜传感器因谐振波的产生而形成的电信号，并对所述电信号进行放大、滤波以及多通道扫查处理，后应用波形数据分析软件获取谐振波的幅频特性曲线，以获知所述待测气体的信息。