[发明专利]气浮轴承模块

摘要

本发明公开一种气浮轴承模块，包括导轨、滑块、第一气浮板及第二气浮板。导轨具有第一表面及第二表面。滑块具有沟槽、第一内壁面及第二内壁面，导轨穿设于沟槽，以使滑块适于相对导轨滑动。第一气浮板位在第一表面与第一内壁面之间，第一气浮板与第一内壁面之间存在第一气腔，第一气浮板与第一表面之间存在第一气浮间隙。第二气浮板位在第二表面与第二内壁面之间，第二气浮板与第二内壁面之间存在第二气腔，第二气浮板与第二表面之间存在第二气浮间隙。本发明在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整。

主权项

1.一种气浮轴承模块，其特征在于，包括：一导轨，具有一第一表面及一第二表面；一滑块，具有一沟槽以及紧邻该沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，该导轨穿设于该沟槽中，以使该滑块适于相对该导轨滑动，其中该第一内壁面朝向该第一表面，该第二内壁面朝向该第二表面；一第一气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第一表面与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间存在一第一气腔，该第一气浮板与该导轨的该第一表面之间存在一第一气浮间隙；以及一第二气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第二表面与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间存在一第二气腔，该第二气浮板与该导轨的该第二表面之间存在一第二气浮间隙。