[发明专利]一种高精度二维平移台垂直度检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种高精度二维平移台垂直度检测方法及装置，检测方法，包括如下步骤：将具有两个相互垂直的第一测量面和第二测量面的测量物固定安装在二维平移台的滑台上；滑台沿着X轴导轨移动，采集第一测量面的移动距离xi和第二测量面的垂直跳动量Δyi；滑台沿着Y轴导轨移动，采集第二测量面的移动距离yi和第一测量面的水平跳动量Δxi；处理系统根据最小二乘法拟合计算出二维平移台的垂直度θs。由于二维平移台通过安装具有两个相互垂直的第一测量面和第二测量面的测量物进行非接触式测量，再通过两个测量面的移动距离和跳动量拟合计算出二维平移台的垂直度，从而本检测方法的测量精度高，检测效率也极大提升。

主权项

1.一种高精度二维平移台垂直度检测方法，其特征在于，包括如下步骤：将具有两个相互垂直的第一测量面和第二测量面的测量物固定安装在二维平移台的滑台上，并且所述测量物的第一测量面法向与二维平移台的X轴导轨平行；滑台沿着X轴导轨移动，处理系统通过与所述第一测量面相对的第一非接触式传感器采集所述第一测量面的移动距离x_i，并通过与所述第二测量面相对的第二非接触式传感器采集所述第二测量面的垂直跳动量Δy_i；滑台沿着Y轴导轨移动，处理系统通过与所述第二测量面相对的第二非接触式传感器采集所述第二测量面的移动距离y_i，并通过与所述第一测量面相对的第一非接触式传感器采集所述第一测量面的水平跳动量Δx_i；处理系统通过最小二乘法拟合得到X轴导轨相对测量物运动轨迹的偏差角度θ_x和Y轴导轨相对测量物运动轨迹的偏差角度θ_y，并计算出二维平移台的垂直度θ_s＝θ₀+θ_x‑θ_y，其中θ₀为第一测量面与第二测量面的垂直度。