[发明专利]大尺寸铸锭用坩埚涂层的自动喷涂工艺及坩埚有效
申请号: | 201711102267.1 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN107876362B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 王海果;周雷;秦敬良;桂有春;胡亚兰;游达 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | B05D7/22 | 分类号: | B05D7/22;B05D7/24;B05D3/00;C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种大尺寸铸锭用坩埚涂层的自动喷涂工艺及坩埚,其中,自动喷涂工艺包括以下步骤:预热大尺寸铸锭用坩埚,以及机械臂带动喷枪使用喷涂溶液按喷涂路径对坩埚内壁进行自动喷涂。本发明通过优化喷枪的喷涂路径和喷涂溶液配比,保证对大尺寸坩埚内壁喷涂的均匀性和一致性,避免自动喷涂大尺寸坩埚硅锭时易出现粘埚导致裂锭的问题,并可同步进行多个坩埚的自动喷涂,提高了喷涂效率。 | ||
搜索关键词: | 尺寸 铸锭 坩埚 涂层 自动 喷涂 工艺 | ||
【主权项】:
一种大尺寸铸锭用坩埚涂层的自动喷涂工艺,其特征在于,包括以下步骤:预热尺寸不小于长800×宽800×高300mm的铸锭用坩埚;以及机械臂带动喷枪使用喷涂溶液按喷涂路径对坩埚内壁进行自动喷涂;其中,所述喷涂路径包括:a、喷涂坩埚内侧面、内侧壁R角以及内底面1遍及以上;b、喷涂坩埚内侧面、内侧壁R角和内底面中至少一个区域1遍,完成对坩埚所有内壁面的第1道喷涂;c、重复步骤a和b,完成对坩埚所有内壁面的5道及以上的喷涂,即完成对单个坩埚的自动喷涂;或c、重复步骤a和b,依次完成对其余坩埚的所有内壁面的第1道喷涂,之后再重复步骤a和b,交替对所有坩埚内壁面进行5道及以上的喷涂,即完成对多个坩埚的自动喷涂。
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