[发明专利]一种微纳多层复合金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积制备微纳多层复合金刚石薄膜的方法：以经过预处理的硬质合金平片或硬质合金铣刀作为衬底材料，在热丝CVD设备中以丙酮为碳源，配合氢气，首先在衬底表面沉积一层微米金刚石薄膜，调节参数继续原位沉积一层纳米金刚石薄膜，以此类推，制备出具有微纳复合结构的多层金刚石薄膜。本发明工艺简单，操作方便，获得的多层膜结构具有明显的分层，同时具有微米膜耐磨和纳米膜表面粗糙度低的特性，有效缓解了微米膜柱状结构易产生裂纹扩展的弊端，能显著提高金刚石薄膜的综合性能。

主权项

1.一种微纳多层复合金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：以丙酮为碳源、氢气为反应气，采用热丝化学气相沉积法在衬底表面沉积一层微米金刚薄膜；S2：在所述微米金刚石薄膜的表面沉积一层纳米金刚石薄膜；S3：依次重复步骤S1和S2的操作0到多次，得到微纳多层复合金刚石薄膜；其中，所述衬底为经过预处理的硬质合金材料。