[发明专利]二维纳米柔性运动平台

摘要

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件均与所述基座连接；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件均与所述基座连接；两个X向柔性解耦件，两个X向柔性解耦件分别与所述Y向导向件及所述终端平台连接；两个Y向柔性解耦件，两个Y向柔性解耦件分别与所述X向导向件及所述终端平台连接；X向T型杆和Y向T型杆,X向T型杆与所述Y向柔性解耦件连接，Y向T型杆与所述X向柔性解耦件连接；X向驱动器和Y向驱动器，X向驱动器与所述X向T型杆连接，Y向驱动器与所述Y向T型杆连接。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有大行程(毫米级)，刚度非线性度小，解耦误差小，高精度(纳米级)的优点。

主权项

一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；两个X向柔性导向件，每个所述X向柔性导向件沿竖直于运动平面方向延伸且与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，每个所述Y向柔性导向件沿竖直于运动平面方向延伸且与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，所述X向柔性解耦件沿竖直于运动平面方向延伸且分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，所述X向柔性解耦件沿竖直于运动平面方向延伸且分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连；X向T型杆和Y向T型杆，所述X向T型杆与Y向柔性解耦件相连，所述Y向T型杆与Y向柔性解耦件相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与所述X向T型杆相连，所述Y向驱动器与所述Y向T型杆相连。