[发明专利]一种膜厚检测装置

摘要

本发明公开了一种膜厚检测装置，包括：激光光源、光学镜组、图像接收器；其中，光学镜组，用于接收激光光源出射的激光，生成第一光束和至少两次透过待测薄膜的第二光束，使第一光束与第二光束发生干涉；图像接收器，用于接收干涉光并确定干涉信息，根据干涉信息确定薄膜的厚度。本发明实施例提供的膜厚检测装置采用激光多次透过待测薄膜后的激光干涉信息来测量薄膜的厚度，光线的光程变化可感知微小的折射率以及距离变化，因此利用光程变化确定薄膜厚度的灵敏度相较现有技术的方式有较大提高。

主权项

1.一种膜厚检测装置，其特征在于，包括：激光光源、光学镜组以及图像接收器；其中，所述光学镜组，用于接收所述激光光源出射的激光，生成第一光束和至少两次透过待测薄膜的第二光束，使所述第一光束与所述第二光束发生干涉；所述图像接收器，用于接收干涉光并确定干涉信息，根据所述干涉信息确定薄膜的厚度；所述光学镜组，包括：半透半反镜和全反射镜；所述半透半反镜包括：第一半透半反镜和第二半透半反镜；所述第一半透半反镜、所述第二半透半反镜以及所述全反射镜均位于所述图像接收器的正下方；第一半透半返镜与所述待测薄膜呈设定夹角；所述第二半透半反镜、所述全反射镜以及所述待测薄膜相互平行；所述第一半透半反镜与所述第二半透半反镜位于所述待测薄膜与所述图像接收器之间，所述全反射镜位于所述待测薄膜背离所述第二半透半反镜的一侧；第一半透半反镜，用于接收所述激光光源出射的激光向所述第二半透半反镜入射；所述第二半透半反镜，用于将接收的部分激光反射到所述图像接收器形成所述第一光束，同时将接收的部分激光透射并穿过所述待测薄膜向所述全反射镜入射，待所述全反射镜反射后向所述图像接收器透射形成所述第二光束；或者，所述半透半反镜和所述全反射镜均位于所述图像接收器的正下方；所述待测薄膜以及所述全反射镜相互平行；所述半透半反镜位于所述图像接收器与所述待测薄膜之间，所述全反射镜位于所述待测薄膜背离所述半透半反镜的一侧；所述半透半反镜，用于接收垂直入射的激光，将接收的部分激光透射到所述图像接收器形成所述第一光束，同时将接收的部分激光反射并穿过所述待测薄膜向所述全反射镜入射，待所述全反射镜反射后向所述图像接收器透射形成所述第二光束；或者，所述全反射镜包括：第一全反射镜和第二全反射镜；所述半透半反镜与所述第一全反射镜位于所述图像接收器的正下方；所述半透半反镜与所述待测薄膜相互平行；所述半透半反镜位于所述图像接收器与所述待测薄膜之间，所述第一全反射镜、所述第二全反射镜均位于所述待测薄膜背离所述半透半反镜的一侧；所述第一全反射镜与所述第二全反射镜均与所述待测薄膜呈设定夹角；所述第一全反射镜，用于接收并反射所述激光光源出射的激光向所述待测薄膜以及所述半透半反镜垂直出射；所述半透半反镜，用于接收垂直入射的激光，将接收的部分激光透射到所述图像接收器形成所述第一光束，同时将接收的部分激光反射并穿过所述待测薄膜向所述第一全反射镜与所述第二全反射镜入射，待所述第一全反射镜与所述第二全反射镜反射后向所述图像接收器透射形成所述第二光束；或者，所述全反射镜包括：第三全反射镜、第四全反射镜和第五全反射镜；所述半透半反镜与所述第三全反射镜位于所述图像接收器的正下方；所述半透半反镜、所述第五全反射镜与所述待测薄膜相互平行；所述第三全反射镜与所述第四全反射镜均与所述待测薄膜呈设定夹角；所述半透半反镜位于所述图像接收器与所述待测薄膜之间；所述第三全反射镜、所述第四全反射镜以及所述第五全反射镜均位于所述待测薄膜背离所述半透半反镜的一侧；或者，所述第三全反射镜、所述第四全反射镜位于所述待测薄膜背离所述半透半反镜的一侧，所述第五全反射镜与所述半透半反镜位于所述待测薄膜的同一侧；所述第四全反射镜，用于接收激光向所述第三全反射镜或所述第五全反射镜反射；所述第三全反射镜，用于接收并反射激光向所述待测薄膜以及所述半透半反镜垂直出射，或接收激光向所述第四全反射镜反射；所述半透半反镜，用于接收垂直入射的激光，将接收的部分激光透射到所述图像接收器形成所述第一光束，同时将接收的部分激光反射并穿过所述待测薄膜向所述第三全反射镜、所述第四全反射镜与所述第五全反射镜入射，待所述第三全反射镜、所述第四全反射镜与所述第五全反射镜反射后向所述图像接收器透射形成所述第二光束。