[发明专利]一种模斑变换器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710995971.8 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109696725B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陈明华;李渔;华锋;张琦;王会涛 | 申请（专利权）人： | 中兴光电子技术有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B6/136 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 孙浩 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本文公布了一种模斑变换器及其制造方法，所述模斑变换器包括：第一楔形波导和第二楔形波导，所述第一楔形波导与所述第二楔形波导反向对接；所述第一楔形波导为楔形结构，作为输入波导用于与半导体激光器或半导体增益芯片进行端面耦合；所述第二楔形波导为楔形结构，所述第二楔形波导的输出端用于与硅波导进行耦合。本申请可用于半导体激光器或半导体增益芯片与绝缘衬底上的硅波导的耦合，结构简单、工艺要求低，完全兼容CMOS工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变换器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种模斑变换器，其特征在于，包括：第一楔形波导和第二楔形波导，所述第一楔形波导与所述第二楔形波导反向对接；所述第一楔形波导为楔形结构，作为输入波导用于与半导体激光器或半导体增益芯片进行端面耦合；所述第二楔形波导为楔形结构，所述第二楔形波导的输出端用于与硅波导进行耦合。
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