[发明专利]共焦自准直中心偏和曲率半径测量方法与装置有效
| 申请号： | 201710991322.0 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107843213B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;葛洪;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01B11/255;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 唐华 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于光学精密加工检测技术领域，涉及一种共焦自准直中心偏和曲率半径测量方法与装置。该方法利用共焦层析定焦方法对被测镜的球心和顶点进行定焦、借助位置探测系统测得定焦点的位置、计算得到被测镜的曲率半径，利用自准直方法探测被测镜旋转过程中反射光在探测面上的路径从而获得被测镜的偏心量，然后综合偏心量和曲率半径计算得出中心偏。本发明首次将共焦层析定焦原理应用到中心偏测量领域中，改进了传统的自准直中心偏测量方法，并且发明了共焦自准直中心偏和曲率半径测量装置，测量结果表明，该方法具有测量精度高、量程大、效率高、无需重复装卡的优点，可用于光学元件中心偏和曲率半径的精密加工检测。 | ||
| 搜索关键词： | 中心 曲率 半径 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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