[发明专利]一种高转速闭式静压回转工作台

摘要

本发明公开了一种高转速闭式静压回转工作台，包括底座、与底座转动配合的工作台面以及驱动工作台转动的电机，所述工作台面的下部设有竖直固定的转轴，转轴内设有轴向布置的通气道，所述底座的下方设有基座，所述基座上设有可与通气道连通的通气孔，所述工作台面上设有与通气道连通的真空吸盘，所述工作台面和底座之间设有静压轴承。本发明旨在提供一种结构紧凑、定位精度较高的高转速闭式静压回转工作台。

主权项

1.一种高转速闭式静压回转工作台，其特征是，包括底座（1）、与底座（1）转动配合的工作台面（2）以及驱动工作台转动的电机（7），所述工作台面（2）的下部设有竖直固定的转轴（13），转轴（13）内设有轴向布置的通气道（13a），所述底座（1）的下方设有基座（10），所述基座（10）上设有可与通气道（13a）连通的通气孔（10a），所述工作台面（2）上设有与通气道（13a）连通的真空吸盘（3），所述工作台面（2）和底座（1）之间设有静压轴承（5），所述底座（1）的下方设有圆光栅（11），所述圆光栅（11）的外圈与基座（10）固定连接，所述圆光栅（11）的内圈与旋转接头座（9）固定连接，所述转轴（13）的中部设有挡环（6），转轴（13）上设有定位挡环（6）的定位槽，所述的挡环（6）位于底座（1）的上方。