[发明专利]微型复杂件的多面检测方法

摘要

本发明涉及一种微型复杂件的多面检测方法，其包括以下步骤：将微型复杂件置于二次元测量平台上；测量微型复杂件于二次元测量平台的检测面上的尺寸；对于微型复杂件的每一侧面，将一个拼接长方体置于微型复杂件的一侧面旁并使拼接长方体与微型复杂件相接触；测量拼接长方体对微型复杂件的该侧面的反射投影于二次元测量平台的检测面上的尺寸；将两个拼接长方体对称并排置于二次元测量平台上，将微型复杂件置于其中一个拼接长方体上，测量另一个拼接长方体对微型复杂件的底面的反射投影于二次元测量平台的检测面上的尺寸。上述微型复杂件的多面检测方法能够精确测量微型复杂件的各个面的微结构，提升了测量效率。

主权项

一种微型复杂件的多面检测方法，其特征在于，包括以下步骤：将所述微型复杂件置于二次元测量平台上；测量所述微型复杂件于所述二次元测量平台的检测面上的尺寸；对于所述微型复杂件的每一侧面，将一个拼接长方体的一侧面与所述微型复杂件待测量的一侧面相接触，并使所述微型复杂件相对于所述拼接长方体位于预设位置，其中，所述拼接长方体由两个相同的直角三棱镜拼接而成；测量所述拼接长方体对所述微型复杂件的该侧面的反射投影于所述二次元测量平台的检测面上的尺寸；直至测量完成所述微型复杂件的每一侧面的尺寸；将两个所述拼接长方体对称并排置于所述二次元测量平台上，将所述微型复杂件置于其中一个所述拼接长方体上，测量另一个所述拼接长方体对所述微型复杂件的底面的反射投影于所述二次元测量平台的检测面上的尺寸。