[发明专利]一种白光自干涉表面检测仪在审
| 申请号： | 201710846015.3 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN107702661A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 郑明杰;李志芳 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B21/06;G02F1/13 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙)35214 | 代理人： | 林志峥 |
| 地址： | 350000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种白光自干涉表面检测仪，包括载物台以及设置于载物台上的显微镜光路和成像光路；所述显微镜光路由上至下依次包括科勒照明系统光源、孔径光阑、分光棱镜和物镜，所述孔径光阑上设有随机分布的阵列针孔；所述成像光路由外至内依次包括CCD、傅里叶变换镜头、纯位相液晶光阀和望远透镜；所述显微镜光路的光轴与载物台垂直，所述成像光路的光轴与显微镜光路的光轴垂直，且显微镜光路的光轴与成像光路的光轴的交点在分光棱镜的分光面上。本发明结构简单、抗干扰抗震性能更高、只需四次成像后处理简单，具有更好的成像效果和更高的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 干涉 表面 检测 | ||
【主权项】：
一种白光自干涉表面检测仪，其特征在于，包括载物台以及设置于载物台上的显微镜光路和成像光路；所述显微镜光路由上至下依次包括科勒照明系统光源、孔径光阑、分光棱镜和物镜，所述孔径光阑上设有随机分布的阵列针孔；所述成像光路由外至内依次包括CCD、傅里叶变换镜头、纯位相液晶光阀和望远透镜；所述显微镜光路的光轴与载物台垂直，所述成像光路的光轴与显微镜光路的光轴垂直，且显微镜光路的光轴与成像光路的光轴的交点在分光棱镜的分光面上。
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