[发明专利]MOM电容、MOM电容阵列及MOM电容阵列的布局和走线方法在审

专利信息
申请号: 201710831547.X 申请日: 2017-09-15
公开(公告)号: CN107633128A 公开(公告)日: 2018-01-26
发明(设计)人: 赵长猛;赵喆;刘寅 申请(专利权)人: 北京华大九天软件有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司11467 代理人: 王金双
地址: 100102 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种MOM电容、MOM电容阵列及MOM电容阵列的布局和走线方法,所述MOM电容包括中间金属层和上下屏蔽层,其中,所述中间金属层由插指形式的上极板和下极板构成,所述下极板包围所述上极板;所述上下屏蔽层采用整片结构;所述上下屏蔽层和所述中间金属层层叠在一起,通过通孔进行连接。本发明的MOM电容、MOM电容阵列及MOM电容阵列的布局和走线方法,可以克服现有工艺的不足,把MOM电容的失配率做的很小,并且减小电容阵列占用的版图面积,以及减小走线寄生、提高电容匹配性,满足电容阵列中单位电容、位电容的精度要求。
搜索关键词: mom 电容 阵列 布局 方法
【主权项】:
一种MOM电容,其特征在于,包括:中间金属层和上下屏蔽层,其中,所述中间金属层由插指形式的上极板和下极板构成,所述下极板包围所述上极板;所述上下屏蔽层采用整片结构;所述上下屏蔽层和所述中间金属层层叠在一起,通过通孔进行连接。
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