[发明专利]MOM电容、MOM电容阵列及MOM电容阵列的布局和走线方法在审
申请号: | 201710831547.X | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN107633128A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 赵长猛;赵喆;刘寅 | 申请(专利权)人: | 北京华大九天软件有限公司 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司11467 | 代理人: | 王金双 |
地址: | 100102 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种MOM电容、MOM电容阵列及MOM电容阵列的布局和走线方法,所述MOM电容包括中间金属层和上下屏蔽层,其中,所述中间金属层由插指形式的上极板和下极板构成,所述下极板包围所述上极板;所述上下屏蔽层采用整片结构;所述上下屏蔽层和所述中间金属层层叠在一起,通过通孔进行连接。本发明的MOM电容、MOM电容阵列及MOM电容阵列的布局和走线方法,可以克服现有工艺的不足,把MOM电容的失配率做的很小,并且减小电容阵列占用的版图面积,以及减小走线寄生、提高电容匹配性,满足电容阵列中单位电容、位电容的精度要求。 | ||
搜索关键词: | mom 电容 阵列 布局 方法 | ||
【主权项】:
一种MOM电容,其特征在于,包括:中间金属层和上下屏蔽层,其中,所述中间金属层由插指形式的上极板和下极板构成,所述下极板包围所述上极板;所述上下屏蔽层采用整片结构;所述上下屏蔽层和所述中间金属层层叠在一起,通过通孔进行连接。
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