[发明专利]电子元件装置的电气特性测定方法、筛选方法及测定装置

摘要

本发明提供校正了由基准温度和测定温度的差异引起的测定误差的电子元件的电气特性测定方法。分别对温度区域(3S、3T)进行温度控制，并且通过第1温度传感器(6)、第2温度传感器(8)、第3温度传感器(9)测定温度，算出测定电气特性时被测定电子元件装置X的测定时推定温度，使用该测定时推定温度，校正由基准温度和测定温度的差异引起的测定误差。校正后的电气特性在规定的范围内时，判断被测定电子元件装置(X)为合格品。

主权项

一种电子元件装置的电气特性测定方法，测定被测定电子元件装置的电气特性，其特征在于，所述被测定电子元件装置经由初始温度确定位置向测定点传送，在所述测定点测定所述电气特性，取得测定电气特性，分别明确第1相关关系和第2相关关系，其中，所述第1相关关系是指在第1温度的所述被测定电子元件装置置于不同于所述第1温度的第2温度的第2温度区域的情况下，推定经过时间t后的所述被测定电子元件装置的温度，所述第2相关关系是指根据测定所述电气特性时所述被测定电子元件装置应为的温度即基准温度、和测定所述电气特性时所述被测定电子元件装置的实际温度即测定温度，来校正所述测定电气特性所包含的由所述基准温度和所述测定温度的偏差所引起的测定误差，在所述初始温度确定位置，确定所述被测定电子元件装置的初始温度，确定所述测定点的温度即测定点温度，确定经由所述初始温度确定位置的所述被测定电子元件装置进入所述测定点的温度区域后到测定所述电气特性为止所需的经过时间，在所述第1相关关系中，将所述初始温度设为所述第1温度、将所述测定点温度设为所述第2温度、将所述经过时间设为时间t，来推定测定所述电气特性时所述被测定电子元件装置的测定时推定温度，在所述第2相关关系中，将所述测定时推定温度设为所述测定温度，取得校正了由所述基准温度和所述测定温度的偏差所引起的测定误差的已校正电气特性。