[发明专利]用于电容式湿度传感器的复合湿敏材料及传感器制备方法在审
| 申请号： | 201710800145.3 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN107607594A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王琮 | 申请（专利权）人： | 王琮 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司23101 | 代理人： | 吴振刚 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于电容式湿度传感器的复合湿敏材料及传感器制备方法，复合湿敏材料，配方如下氧化钛或钛酸钡与钛酸锶钡按照11‑13质量比混合，称为初始功能陶瓷材料，聚酰胺或聚四氟乙烯与所述的初始功能陶瓷材料按照0.3wt％‑0.5wt％的质量比混合，称为混合物，惰性金属与所述的混合物按照15wt％‑25wt％的质量比混合。将该复合湿敏材料采用气溶胶沉积工艺制成复合湿敏膜，将该膜通过半导体加工工艺制成电容式湿度传感器。本发明的传感器具有高精密度、高稳定性、耐热、防污染、高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电容 湿度 传感器 复合 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于电容式湿度传感器的复合湿敏材料，其特征在于，配方如下：氧化钛或钛酸钡与钛酸锶钡按照1:1‑1:3质量比混合，称为初始功能陶瓷材料，聚酰胺或聚四氟乙烯与所述的初始功能陶瓷材料按照0.3wt％‑0.5wt％的质量比混合，称为混合物，惰性金属与所述的混合物按照15wt％‑25wt％的质量比混合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于王琮，未经王琮许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710800145.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种漏液检测装置、方法及水处理设备
- 下一篇：滤光片检测装置及方法
