[发明专利]微机电的流体控制装置

摘要

本案提供一种微机电的流体控制装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振膜、致动膜、压电膜及出口板依序堆叠设置，共振膜与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电膜驱动致动膜时，流体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振膜的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制流体的流通。

主权项

1.一种微机电的流体控制装置，其由至少一导流单元所构成，该至少一导流单元，其特征在于，包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振膜，为面型微加工技术制成的悬浮结构，具有一中空孔洞及多个可动部，且该共振膜与该入口板之间具有一汇流腔室；一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；一压电膜，贴附于该致动膜的该悬浮部的一表面；以及一出口板，具有一出口孔；其中，该入口板、该基材、该共振膜、该致动膜及该出口板依序对应堆叠设置，该导流单元的该共振膜及该致动膜之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动膜及该出口板之间形成一第二腔室，当该导流单元的该压电膜驱动该致动膜时，流体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室，并流经该共振膜的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以控制流体的流通。