[发明专利]光学装置、加工装置及物品制造方法有效

专利信息
申请号: 201710759642.3 申请日: 2017-08-30
公开(公告)号: CN107797270B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 久米政治;井上晋宏 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G02B17/06;G02B19/00
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 魏小薇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了光学装置、加工装置及物品制造方法。该光学装置包括:包括第一反射表面和第二反射表面的可旋转反射部件;光学系统,包括多个反射表面并且被配置为在该多个反射表面处依次反射已经于第一反射表面处反射的光以使光入射到第二反射表面上;驱动部分,被配置为改变反射部件的角度;控制单元,被配置为控制驱动部分以改变在于第二反射表面处反射之后从反射部件发射出的光的路径;以及光入射部分,被配置为识别已经在第一反射表面处反射的光的位置。
搜索关键词: 光学 装置 加工 物品 制造 方法
【主权项】:
一种光学装置,其特征在于,包括:反射部件,包括第一反射表面和第二反射表面;光学系统,包括多个反射表面并且被配置为在所述多个反射表面上依次反射已经由所述第一反射表面反射的光以将所述光引导到所述第二反射表面;驱动部分,被配置为改变所述光在所述反射部件的所述第一反射表面上的入射角;控制单元,被配置为控制所述驱动部分,使得在所述光已经于所述第二反射表面上反射之后从所述反射部件输出的所述光的路径能够受到控制;以及光入射部分,被配置为指示在所述光已经由所述第一反射表面反射之后的入射光的位置。
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