[发明专利]一种热释电红外探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710747273.6 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN107546319B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 罗文博;孙杰西;吴传贵;帅垚;王韬;张开盛 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于电子材料与元器件技术领域，具体为一种热释电红外探测器及其制备方法。包括凹槽透光衬底、热释电层和键合层。本发明使用表面带有凹槽的透光衬底代替硅衬底，为使用常温、常压键合将衬底与单晶或陶瓷热释电敏感元进行集成提供了条件，实现了空气隙悬空绝热结构与单晶或陶瓷热释电敏感元集成；并在热释电敏感元制作凹槽、在敏感元内部形成一个绝热结构。本发明提供的热释电红外探测器，热性能好、可靠性高、工艺简单、成本低，且易于集成，探测性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热释电 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热释电红外探测器，包括带凹槽透光衬底、热释电层和光敏键合层，其特征在于：热释电层为单晶或陶瓷热释电敏感元，带有上电极和下电极，上电极使用双电容结构，下电极设置于带凹槽透光衬底的凹槽上方，并与其相适应使下电极完全悬空，形成一个带空气隙的自支撑结构；键合层在热释电层与带凹槽透光衬底的中间，热释电层与带凹槽透光衬底使用常温、常压键合的方式集成。
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