[发明专利]一种获得大孔径双通孔AAO膜的方法有效

专利信息
申请号: 201710659822.4 申请日: 2017-08-04
公开(公告)号: CN107502936B 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 李阳平;李莉;刘鹏;马智达;陈一丹;韦秋霞 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: C25D11/12 分类号: C25D11/12;C25D11/10;C25D11/08
代理公司: 61254 西安中科汇知识产权代理有限公司 代理人: 李慧芳
地址: 710072 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种获得大孔径双通孔AAO膜的方法,其包括以下步骤:1、对铝箔预处理,获得表面呈镜面光滑平整的铝箔;2、通过二次阳极氧化法制备出带铝基底和阻挡层的大孔径单通孔AAO膜,阳极氧化电解液为磷酸(含量为0.05M~0.2M)和草酸钠(含量为0.01M~0.03M)的混合溶液;3、通过腐蚀剥离方法去除大孔径单通孔AAO膜的铝基底和阻挡层,铝基底腐蚀液为氯化铜(含量为0.1M~0.15M)和三氯化铁(含量为0.15M~0.18M)的混合溶液。本发明的有益之处在于:获得了大孔径、孔洞排列有序、面积大、完整性好的双通孔AAO膜。
搜索关键词: 大孔径 铝基 铝箔 混合溶液 双通孔 阻挡层 单通 预处理 阳极氧化电解液 二次阳极氧化 镜面 光滑平整 孔洞排列 三氯化铁 草酸钠 腐蚀液 氯化铜 磷酸 去除 剥离 腐蚀
【主权项】:
1.一种获得大孔径双通孔AAO膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:/n一、对铝箔进行预处理,获得表面呈镜面光滑平整的铝箔;/n二、通过二次阳极氧化法制备出带铝基底和阻挡层的大孔径单通孔AAO膜,具体如下:/nStep2.1:制备阳极氧化电解液,该阳极氧化电解液为磷酸和草酸钠的混合溶液,其中,磷酸的含量为0.2M,草酸钠的含量为0.03M;/nStep2.2:将经过预处理的铝箔作为阳极,浸入Step2.1所制备得到的阳极氧化电解液中,将铂网作为阴极,进行第一次阳极氧化,氧化电压为150V,氧化温度为-1℃,氧化时间为3h;/nStep2.3:去除第一次氧化得到的氧化铝层,然后将去除氧化铝层的铝箔作为阳极,浸入Step2.1所制备得到的阳极氧化电解液中,将铂网作为阴极,进行第二次阳极氧化,氧化电压为150V,氧化温度为-1℃,氧化时间为6h,获得大孔间距AAO膜;/nStep2.4:将Step2.3所获得的大孔间距AAO膜放置在浓度为0.75M的氢氧化钠溶液中进行腐蚀,腐蚀时间为2min,获得大孔径单通孔AAO膜;/n三、通过腐蚀剥离方法去除大孔径单通孔AAO膜的铝基底和阻挡层,具体如下:/nStep3.1:在大孔径单通孔AAO膜上涂覆一层聚甲基丙烯酸甲酯作为保护膜,然后去除铝基体另一面的氧化铝层,露出铝基体;/nStep3.2:制备铝基底腐蚀液,该铝基底腐蚀液为氯化铜和三氯化铁的混合溶液,其中,氯化铜的含量为0.15M,三氯化铁的含量为0.15M,在室温下对Step3.1所获得的大孔径单通孔AAO膜进行腐蚀,直至铝基底完全被去除,露出氧化铝阻挡层;/nStep3.3:将Step3.2所获得的已去除铝基底的大孔径单通孔AAO膜放置在浓度为0.5M的磷酸溶液中,在80℃温度下进行腐蚀,直至阻挡层完全被去除,获得大孔径双通孔AAO膜;/nStep3.4:将Step3.3所获得的大孔径双通孔AAO膜转移到其它衬底上,去除聚甲基丙烯酸甲酯保护膜。/n
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