[发明专利]基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统及其制备方法有效
| 申请号： | 201710636334.1 | 申请日： | 2017-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN107393253B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王旭兰 | 申请（专利权）人： | 王旭兰 |
| 主分类号： | G08B17/12 | 分类号： | G08B17/12;H01L31/032;H01L31/109 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321000 浙江省金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统及其制作方法，由氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片、紫外光电探测外围电路、LED指示灯以及网络通讯模块组成，所述氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片包括氧化銪薄膜、氧化镓薄膜、Ti/Au薄膜电极以及n型Si衬底，所述氧化銪薄膜的厚度为100‑150nm，氧化镓薄膜的厚度为200‑250nm，氧化銪薄膜和氧化镓薄膜形成氧化銪/氧化镓异质结，n型Si衬底作为氧化镓薄膜的衬底。本发明的基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统可以将火灾报警信息发送到计算机或移动手机终端，实现远程监测和报警，氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片性能稳定、响应度高和灵敏度高，可应用于远程电气火灾报警和高压线电晕远程监测，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 异质结 薄膜 远程 电气 火灾 监测 系统 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.基于异质结薄膜的远程电气火灾监测系统，其特征在于，由氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片、紫外光电探测外围电路、LED指示灯以及网络通讯模块组成，所述氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片包括氧化銪薄膜、氧化镓薄膜、Ti/Au薄膜电极以及n型Si衬底；所述氧化銪薄膜的厚度为100-150nm，氧化镓薄膜的厚度为200-250nm，氧化銪薄膜和氧化镓薄膜形成氧化銪/氧化镓异质结，n型Si衬底作为氧化镓薄膜的衬底；所述氧化銪/氧化镓异质结薄膜芯片的制备包括以下步骤：步骤一，将n型Si衬底放入V(HF):V(H
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