[发明专利]一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法有效
| 申请号： | 201710618190.7 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107490547B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 胡浩丰;刘铁根;李校博 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法，步骤(1)、根据光强测量的方差、PSG和PSA仪器矩阵，推导出待测样本Mueller矩阵16元素的测量方差，合理调整Mueller矩阵16个元素的估算方差，得到仅与椭偏参数估算直接相关的Mueller矩阵元素方差和的解析表达式；步骤(2)、在PSG和PSA矩阵相同的假设下，利用全局优化算法搜索出最优化仪器矩阵；步骤(3)、根据最优化仪器矩阵，进行光强采集，并计算得到对应Mueller矩阵各个元素的测量方差。与现有技术相比，本发明可以明显降低椭偏参数测量的方差，提升参数估算的精度和稳定性；操作简单、效果明显；与待测样品的具体Mueller矩阵无关，具有较好的普适性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mueller 矩阵 型椭偏仪椭偏 参数 测量 优化 方法 | ||
【主权项】：
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