[发明专利]一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法在审
| 申请号： | 201710612322.5 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107356601A | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 何广智;顾晓芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，包括下列步骤在缺陷检测机台的检测程式内预设缺陷图形像素化处理后的形貌特征；利用缺陷检测机台对晶圆进行缺陷扫描生成晶圆缺陷图形；对晶圆缺陷图形进行缺陷图形像素化处理；将处理结果与检测程式内预设的形貌特征进行对比；确定晶圆缺陷预分类结果并发送报告。本发明提出的缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，所要解决的技术问题是使缺陷检测机台能自动高效，精确的通过图形运算处理区分缺陷形貌，在缺陷扫描过程中就能对缺陷进行自动分类并报告出来从而方便工程人员分析缺陷更有针对性节省时间提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 机台 自动 分类 报告 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，其特征在于，包括下列步骤：在缺陷检测机台的检测程式内预设缺陷图形像素化处理后的形貌特征；利用缺陷检测机台对晶圆进行缺陷扫描生成晶圆缺陷图形；对晶圆缺陷图形进行缺陷图形像素化处理；将处理结果与检测程式内预设的形貌特征进行对比；确定晶圆缺陷预分类结果并发送报告。
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