[发明专利]一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关

摘要

一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、固定锚点、上电极、释放孔、空气桥、引线组成，微波传输线、驱动电极和引线设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，上电极通过固定锚点固定在微波传输线上，下电极采用带有双弹性梁的双触点结构，弹性梁通过固定锚点固定在微波传输线上，双弹性梁上分别设有触点，从力学性能讲，可以减小上电极在静电作用下快速下拉对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，从电学性能讲，可以增强有效接触，避免弱接触带来的开关烧蚀和粘连，本发明有效地改善了传统双触点虚接引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。

主权项

一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，其特征在于，所述开关包括：衬底，所述衬底为所述射频MEMS开关的基座承载体；上电极，所述上电极为长方体结构，所述上电极一端通过锚点固定在所述信号线上，所述上电极的中部及另一端延伸于所述衬底水平上方；下电极，所述下电极包括两个并行排列、并分别具有触点的弹性梁结构，所述触点置于所述上电极另一端的竖直下方；驱动电极，所述驱动电极置于所述衬底上表面中心处，同时置于所述上电极竖直下方，所述上电极与所述驱动电极相对应位置处开设有释放孔阵列；所述下电极通过锚点固定在所述信号线上。引线，所述引线设置在衬底上，与驱动电极相连。