[发明专利]膜厚监控仪与蒸镀机有效
| 申请号： | 201710598206.2 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107565062B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 金贤权 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L21/67;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;闻盼盼 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜厚监控仪与蒸镀机。本发明的膜厚监控仪包括：壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器、设于所述壳体上的窗口、及安装于所述窗口上的风扇，所述转盘转动时带动所述数个膜厚监测传感器依次经过所述窗口。通过在壳体的窗口上安装风扇，蒸镀过程中挥发至所述窗口处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能。本发明的蒸镀机通过安装上述膜厚监控仪减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体的次数，提高了蒸镀机的稼动率及产能。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 蒸镀机 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚监控仪，其特征在于，包括：壳体(11)、设于所述壳体(11)内的转盘(12)、设于所述壳体(11)内且固定于所述转盘(12)上的数个膜厚监测传感器(13)、设于所述壳体(11)上的窗口(14)、及安装于所述窗口(14)上的风扇(15)，所述转盘(12)转动时带动所述数个膜厚监测传感器(13)依次经过所述窗口(14)；所述风扇(15)的扇叶(16)为可折叠扇叶。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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