[发明专利]一种针对暗弱信号的夏克哈特曼探测器质心探测方法有效

专利信息
申请号: 201710566436.0 申请日: 2017-07-12
公开(公告)号: CN107478174B 公开(公告)日: 2019-10-08
发明(设计)人: 胡立发;申文;葛瑞;胡栋挺;刘新宇;马文超;俞琳;楚广勇;朱华新;苏宙平;张秀梅;朱焯炜;阙立志;高淑梅;张逸新 申请(专利权)人: 江南大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G01B11/30
代理公司: 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 代理人: 张勇
地址: 214122 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种针对暗弱信号的夏克哈特曼探测器质心探测方法,属于自适应光学和光学元件面形检测技术领域。本发明公开了一种观测暗弱目标或加工过程中光学元件面形检测时,夏克哈特曼探测器光斑质心计算方法,利用此方法可计算出光斑质心,并且可以降低质心探测误差。
搜索关键词: 一种 针对 暗弱 信号 夏克哈特曼 探测器 质心 探测 方法
【主权项】:
1.一种夏克哈特曼探测器高精度质心探测方法,其特征在于,针对暗弱信号,(1)在探测开始、入射光信噪比低时,对夏克哈特曼探测器每个子区域中集到的小光斑进行边缘检测,提取到光斑的边界样本点,即边缘点;(2)然后,对这些边缘点进行最小二乘法圆拟合得到光斑中心;(3)以此光斑中心的x和y方向坐标为基准点,代入权重函数公式中,得到这个子区域内每个像素的权重因子,在权重函数中,权重与离开基准点距离成反比,距离越近权重越大;将该权重因子和子区域内各个像素的光强对应相乘,然后对得到的每个像素的光强加幂,得到加权后的光强分布;(4)将得到的加权光强分布进行阈值处理,阈值即对每个子区域内光斑的光强排序,取最弱的4个光强值的平均值作为阈值;(5)最后,按照光斑质心计算公式计算每个光斑的质心坐标;步骤(3)中,依据子区域每个内像素的坐标(xi,j,yi,j)离光斑中心坐标(Cx,circle,k,Cy,circle,k)的远近,计算光强的加权函数Wi,j,公式如下:其中,(x,y)为被测点像素坐标,(Cx,circle,k,Cy,circle,k)为边缘检测得到的光斑中心位置坐标;i取值范围为s×n到n×(s+1)‑1,j取值范围为t×n到n×(t+1)‑1;步骤(3)中,在利用加权函数Wi,j对高频噪声进行了滤除后,为了降低低频噪声的影响,进一步采用幂指数加权;采用如下公式对子区域内的光斑的光强分布进行处理:I′i,j=(Ii,j×Wi,j)q         (6)其中,参数q为幂指数,它是一个大于1的实数,这样就得到了经过加权之后的光强图像;然后,对该光强图像进行阈值处理,得到图像I″i,j其中,Ith为图像阈值,该阈值与子区域内的光斑的光强分布有关,其取值方法如下:对子区域内光斑的光强排序,取最弱的4个光强值的平均值作为阈值Ith,背景光强起伏或大气湍流扰动等因素导致的光斑亮度不一致时,这种阈值可以很好地克服某些暗的光斑阈值过高的问题,避免固定阈值导致的暗的光斑质心计算误差过大。
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