[发明专利]裂纹熔合装置及其方法

摘要

本发明提供的裂纹熔合装置及其方法，涉及光学加工技术领域。该裂纹熔合装置通过将电源与等离子体发生器电连接、且两者之间串联有功率匹配器，等离子体发生器用于产生等离子体射流。数控系统包括第一控制系统和第二控制系统，第一控制系统与等离子体发生器连接，用于控制等离子体射流的能量，以及对等离子体发生器工作状态的监控；第二控制系统与加工机床连接，用于控制等离子体射流与光学元件相对运动。该裂纹熔合装置利用等离子体射流的热熔合作用消除光学元件的亚表面的裂纹，避免引入新的微裂纹损伤，裂纹消除效率高。本发明提供的裂纹消除方法通过改变局部材料的重新分配，实现元件亚表面微裂纹的高低互补填充，裂纹消除效率高。

主权项

一种裂纹熔合装置，用于消除光学元件表面及亚表面的裂纹，其特征在于，所述裂纹熔合装置包括电源、功率匹配器、等离子体发生器、冷却装置、氩气气源、加工机床和数控系统；所述电源与所述等离子体发生器电连接，所述电源与所述等离子体发生器之间串联有所述功率匹配器，所述氩气气源与所述等离子体发生器连接，为所述等离子体发生器提供气体，所述等离子体发生器用于产生等离子体射流；所述等离子体发生器与所述加工机床固定连接，所述数控系统包括第一控制系统和第二控制系统，所述第一控制系统与所述等离子体发生器连接，用于控制所述等离子体射流的能量以及监控所述等离子体发生器的工作状态，所述第二控制系统与所述加工机床连接，用于控制所述等离子体射流与所述光学元件相对运动；利用所述等离子体射流的热熔合作用消除所述光学元件的亚表面的裂纹；所述冷却装置分别与所述电源和所述等离子体发生器连接，用于冷却所述电源和所述等离子体发生器。