[发明专利]静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统有效
| 申请号： | 201710480077.7 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107346355B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 朱军华;苏伟;宋芳芳;黄钦文;恩云飞;刘人怀 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17;G01B7/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 冯右明 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法和系统，其中方法包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁结构参数和阶梯型微固支梁结构检测函数，所述阶梯型微固支梁结构检测函数用于记录阶梯型微固支梁结构参数之间的对应关系；根据阶梯型微固支梁静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁非静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁结构检测函数和阶梯型微固支梁总长度，计算阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值；在阶梯型微固支梁静电力作用区长度与阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值相同时，判定阶梯型微固支梁结构达到最佳。本发明采用简单算法模型、数据处理过程简单、计算量小，便于完成对静电驱动阶梯型微固支梁结构的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 阶梯 型微固支梁 结构 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种静电驱动阶梯型微固支梁结构检测方法，其特征在于，包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁结构参数和阶梯型微固支梁结构检测函数，所述阶梯型微固支梁结构参数包括阶梯型微固支梁静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁非静电力作用区宽度、阶梯型微固支梁总长度以及阶梯型微固支梁静电力作用区长度，所述阶梯型微固支梁结构检测函数用于记录阶梯型微固支梁长度比值和阶梯型微固支梁宽度比值之间的对应关系；根据所述阶梯型微固支梁静电力作用区宽度、所述阶梯型微固支梁非静电力作用区宽度、所述阶梯型微固支梁结构检测函数和所述阶梯型微固支梁总长度，确定阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值；在所述阶梯型微固支梁静电力作用区长度与所述阶梯型微固支梁静电力作用区长度最优值相同时，判定所述阶梯型微固支梁结构达到最佳。
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