[发明专利]石墨坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 201710412082.4 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN108975934B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 王燕 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/80 | 分类号： | C04B35/80;C04B35/52 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨坩埚及其制造方法，所述制造方法包括：1）提供一坩埚模具；2）提供氮化硅纤维网，于所述坩埚模具内涂覆含石墨原料的粘结剂，将所述氮化硅纤维网铺盖于所述粘结剂上；3）重复进行步骤2），重复次数为N，其中，N0；4）对所述粘结剂进行固化处理后，进行模具分离获得坩埚模板；5）对所述坩埚模板进行碳化及石墨化处理，获得石墨坩埚。本发明通过干法纺丝制备出连续的氮化硅纤维，具有膨胀系数低、导热性好、机械性能优越等优点；通过在石墨坩埚壁中设置一个或多个平行排布的连续的氮化硅纤维网，形成连续的纤维增强层，可以大大降低石墨坩埚由于热膨胀及冷却过程中的变形程度，避免石墨坩埚裂纹的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨坩埚的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：1)提供一坩埚模具；2)提供氮化硅纤维网，于所述坩埚模具内涂覆含石墨原料的粘结剂，将所述氮化硅纤维网铺盖于所述粘结剂上；3)重复进行步骤2)，重复次数为N，其中，N>0；4)对所述粘结剂进行固化处理后，进行模具分离获得坩埚模板；5)对所述坩埚模板进行碳化及石墨化处理，获得石墨坩埚。
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