[发明专利]基于石墨烯‑二硫化钼异质结的带可调谐光栅的M‑Z电光调制器在审
| 申请号： | 201710409585.6 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN107037613A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;张向秀;刘天良;杜玮;杨忠华;田朝辉;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 徐金琼,刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于光电子技术领域，公开了一种基于石墨烯‑二硫化钼异质结的带可调谐光栅的M‑Z电光调制器，包括衬底层、完全嵌入衬底层内依次相连的输入输出可调谐光栅、输入输出直光波导、S弯曲型Y分支波导和两臂直光波导。所述两臂直光波导上从下到上依次设有第二石墨烯层、二硫化钼、第一石墨烯层，所述第一石墨烯层连接到第一电极和第三电极，所述第二石墨烯层连接到设在两臂间的第二电极。所述输入输出可调谐光栅上从下到上依次设有第四石墨烯层、氮化硼隔离层、第三石墨烯层，第三、第四石墨烯层分别连接到第四、第五电极。相比传统结构，本发明有尺寸小便于集成、调制深度大、消光比高、温度容差大等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 石墨 二硫化钼 异质结 调谐 光栅 电光 调制器 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯‑二硫化钼异质结的带可调谐光栅的M‑Z电光调制器，其特征在于：包括衬底层(1)、嵌设在衬底层(1)内依次相连接的输入输出可调谐光栅(2)、输入输出直光波导(3)、S弯曲型Y分支波导(4)和两臂直光波导(5)，所述输入输出可调谐光栅(2)、输入输出直光波导(3)、S弯曲型Y分支波导(4)和两臂直光波导(5)的波导上表面与衬底层(1)的上表面在同一平面上，所述两臂直光波导(5)上设置有第一石墨烯覆盖层(6)，第一石墨烯覆盖层(6)包括从下到上依次设置的第二石墨烯层(63)、二硫化钼(62)和第一石墨烯层(61)，第二石墨烯层(63)上连接的第二电极(65)，第一石墨烯层(61)上连接的第一电极(64)和第三电极(66)，第一电极(64)和第三电极(66)未接触，所述输入输出可调谐光栅(2)设置有第二石墨烯覆盖层，第二石墨烯覆盖层包括从下到上依次设置的第四石墨烯层(73)、氮化硼隔离层(72)和第三石墨烯层(71)，设置在第四石墨烯层(73)上的第五电极(75)和设置在第三石墨烯层(71)上的第四电极(74)，第三石墨烯层(71)和第四石墨烯层(73)均为叉指电极结构。
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