[发明专利]涂布装置及检测基板上异物的方法有效
| 申请号： | 201710380241.7 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107199139B | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 沈楠;汪永佳 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05D3/00;G01V8/20 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 蔡光仟 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种涂布装置，用于对基板进行涂布，涂布装置包括第一对射式传感器和第二对射式传感器，第一对射式传感器沿第一方向扫描基板的第一表面得到基板上的异物的第一坐标信息，第二对射式传感器沿与第一方向垂直的第二方向扫描基板的第一表面得到基板上的异物的第二坐标信息。本发明提供一种涂布装置，通过在喷嘴上设置与喷嘴固定连接的第一对射式传感器、与喷嘴活动连接的第二对射式传感，不仅可以对喷嘴进行保护，还能准确定位基板上异物的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 检测 基板上 异物 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，用于对基板(10)进行涂布，其特征在于，所述涂布装置包括喷嘴(20)、第一对射式传感器(30)和第二对射式传感器(40)，沿着所述喷嘴(20)的移动方向，所述第一对射式传感器(30)和所述第二对射式传感器(40)位于所述喷嘴(20)的前方，所述第一对射式传感器(30)包括第一发射器(31)和第一接收器(32)，所述第一发射器(31)和所述第一接收器(32)均固定连接至所述喷嘴(20)；所述第一对射式传感器(30)沿第一方向扫描所述基板(10)的第一表面得到所述基板(10)上的异物(11)的第一坐标信息，所述第二对射式传感器(40)沿与所述第一方向垂直的第二方向扫描所述基板(10)的第一表面得到所述基板(10)上的异物(11)的第二坐标信息；所述涂布装置还包括用于拍摄所述基板(10)上的所述异物(11)的摄像头(50)，所述摄像头(50)与所述喷嘴(20)活动连接且能相对所述喷嘴(20)移动；所述涂布装置还包括用于清扫所述基板(10)上的所述异物(11)的清扫装置(60)，所述清扫装置(60)与所述喷嘴(20)活动连接且能相对所述喷嘴(20)移动；在所述喷嘴(20)上沿其长度方向设置有滑轨(70)，所述摄像头(50)和所述清扫装置(60)分别设置在所述滑轨(70)的两端并且可沿着所述滑轨(70)运动，所述摄像头(50)和所述清扫装置(60)均通过伸缩杆活动连接至所述喷嘴(20)。
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