[发明专利]一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统在审

专利信息
申请号: 201710370078.6 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN107144596A 公开(公告)日: 2017-09-08
发明(设计)人: 陈小源;张武康;方小红;李东栋;陈海燕 申请(专利权)人: 中国科学院上海高等研究院
主分类号: G01N25/20 分类号: G01N25/20
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 唐棉棉
地址: 201210 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统,所述测量系统至少包括样品结构模块、成像光路模块以及激发射和光谱测量模块;所述样品结构模块至少包括衬底、待测薄膜、吸收热源和微纳荧光颗粒;所述待测薄膜置于所述衬底上,所述吸收热源和微纳荧光颗粒放置在所述待测薄膜表面;或者所述微纳荧光颗粒直接放置在所述衬底上;所述激光发射和光谱测量模块安装在所述样品结构模块的上方,用于照射待测薄膜以使所述吸收热源吸收激光能量产生热量,同时使微纳荧光颗粒受到激光激发产生荧光,并对光谱进行测量。利用本发明的测量系统可以实现对微纳米薄膜热导率的无损、便捷、可靠测量。
搜索关键词: 一种 基于 荧光 颗粒 薄膜 热导率 测量 系统
【主权项】:
一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量系统,其特征在于,所述测量系统至少包括:样品结构模块、成像光路模块以及激光发射和光谱测量模块;所述样品结构模块至少包括衬底、待测薄膜、吸收热源和微纳荧光颗粒;其中,所述待测薄膜置于所述衬底上,所述吸收热源和微纳荧光颗粒放置在所述待测薄膜表面;或者所述微纳荧光颗粒直接放置在所述衬底上;所述成像光路模块安装在所述样品结构模块的上方,用于提取所述待测薄膜的形状特征参数;所述激光发射和光谱测量模块用于照射待测薄膜以使所述吸收热源吸收激光能量产生热量,同时使微纳荧光颗粒受到激光激发产生荧光,并对光谱进行测量。
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