[发明专利]一种带光学原位检测的石墨烯减薄装置

摘要

本发明涉及一种带光学原位检测的石墨烯减薄装置，该装置设有减薄光路单元、激发光路单元、原位检测光路单元、工作台以及计算机等。减薄光路单元发出的第一激光束用于石墨烯的减薄，激发光路单元发出的第二激光束用于激发被加工区域的石墨烯产生拉曼散射。原位检测光路单元收集石墨烯产生的拉曼散射信号，并根据拉曼散射信号2D峰与G峰强度的比值及拉曼峰位置的偏移大小得到被加工区域石墨烯的层数与温度信息。本发明装置可同时对局部不均匀的石墨烯样品进行局部厚度测量与减薄，装置根据实际测得的被加工区域的石墨烯层数，调节激光功率与减薄时间，精确控制石墨烯的减薄层数，从而得到层数均匀、可控的石墨烯薄膜。

主权项

1.一种带光学原位检测的石墨烯减薄装置，其特征在于，包括工作台、减薄光路单元、激发光路单元、原位检测光路单元和计算机；该工作台设有真空腔以放置石墨烯；该减薄光路单元设置于工作台上方以向石墨烯发出第一激光束实现减薄；该激发光路单元设置于工作台上方以发出第二激光束，该第二激光束用于激发石墨烯产生拉曼信号，且该第二激光束与第一激光束合束后聚焦于石墨烯表面的被测点；该原位检测光路单元位于工作台下方以收集被测点产生的石墨烯拉曼散射光，进行滤波处理后通过光谱分析得到石墨烯被测点的拉曼光谱信号；该计算机与原位检测光路单元、减薄光路单元相连以根据光谱信号得到石墨烯被测点的层数和温度值，及根据被测点层数调整第一激光束以控制减薄层数。