[发明专利]薄膜水汽透过率的测试方法

摘要

本发明公开了一种薄膜水汽透过率的测试方法，包括步骤S1、在基板上蒸镀钙薄膜层；S2、在保护气体下，通过原子层沉积方法在基板上沉积封装薄膜层，封装薄膜层覆盖所述钙薄膜层，获得待测薄膜器件；S3、采用开尔文四探针法对步骤S2获得的待测薄膜器件进行测试，获得待测薄膜器件中钙薄膜层的随时间t变化的电导率曲线，提取曲线线性部分的斜率d(1/R)/dt，代入下式，得到薄膜水汽透过率ηWVTR式中，n为25℃温度下水汽透过特征系数，M(H2O)为水的摩尔质量，M(Ca)为钙的摩尔质量，δ为钙电阻率，ρ为钙密度，L为钙薄膜层的长度，W为钙薄膜层的宽度。本发明的测试精度可以达到1×10－6g·m－2·d－1，具有快速、简单、精度高等优点。

主权项

一种薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在基板上蒸镀钙薄膜层；S2、在保护气体下，通过原子层沉积方法在所述基板上沉积封装薄膜层，所述封装薄膜层覆盖所述钙薄膜层，获得待测薄膜器件；S3、采用开尔文四探针法对步骤S2获得的所述待测薄膜器件进行测试，获得所述待测薄膜器件中钙薄膜层的随时间t变化的电导率曲线，提取所述曲线线性部分的斜率：d(1/R)/dt，代入下式，得到所述待测薄膜器件的薄膜水汽透过率ηWVTR：ηWVTR=-nM(H2O)M(Ca)δρLWd(1R)dt]]>式中，n为25℃温度下水汽透过特征系数，n＝2.556×10‑5m2/s；M(H2O)为水的摩尔质量，M(Ca)为钙的摩尔质量，δ为钙电阻率，ρ为钙密度，L为钙薄膜层的长度，W为钙薄膜层的宽度。