[发明专利]一种太赫兹滤波器及其加工方法有效
| 申请号： | 201710325276.0 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107230816B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 张乃柏;宋瑞良;郭秋泉;杨军;汪春霆 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | H01P1/207 | 分类号： | H01P1/207;H01P11/00 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050000 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹滤波器，属于滤波器技术领域。其包含芯体和封装外壳，芯体内具有基于微机电系统和深反应离子刻蚀技术加工而成的矩形波导腔滤波器结构，封装外壳内具有与芯体的外部规格尺寸一致的芯体腔，封装外壳将芯体完全包裹，芯体腔的两端各设有一条直线形导孔，导孔的一端与芯体的波导腔相接，导孔的另一端开口于封装外壳的外表面，导孔与波导腔处于一条直线上，导孔的径向截面与波导腔的径向截面尺寸一致。本发明太赫兹滤波器既能保证滤波性能，同时又具有极好的强度，是对现有技术的一种重要改进。 | ||
| 搜索关键词： | 导孔 封装外壳 芯体 滤波器 波导腔 尺寸一致 径向截面 芯体腔 深反应离子刻蚀 矩形波导腔 滤波器技术 滤波器结构 微机电系统 技术加工 滤波性能 一端开口 直线形 体内 外部 加工 改进 保证 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹滤波器，包含芯体和封装外壳，其特征在于，所述芯体内具有基于微机电系统和深反应离子刻蚀技术加工而成的矩形波导腔滤波器结构，所述封装外壳内具有与所述芯体的外部规格尺寸一致的芯体腔，所述芯体腔在各个方向上均具有腔壁，所述芯体位于所述芯体腔内，所述封装外壳将所述芯体完全包裹，所述芯体腔的两端各设有一条直线形导孔，所述导孔的一端与所述芯体的波导腔相接，所述导孔的另一端为位于所述封装外壳的外表面上的开口，所述导孔与所述波导腔处于一条直线上，所述导孔的径向截面与所述波导腔的径向截面尺寸一致。
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