[发明专利]光学元件损伤所属表面的分类方法

摘要

本发明提供一种自动区分入光面损伤或出光面损伤的光学元件损伤所属表面的分类方法，属于光学损伤分类领域。本发明具体为：选取光学元件；利用FODI系统采集光学元件真空隔离片的损伤在线图像，并在该光学元件真空隔离片通光口径范围内标记出所有的损伤点；对光学元件真空隔离片通光口径范围内的入光面与出光面逐一扫描，记录下损伤点位置与形态，作为离线数据；使用几何变换把离线数据匹配到采集的在线图像上，获得入光面与出光面损伤的训练样本集；建立分类模型，采用训练样本集训练分类模型，获取分类模型的最优参数；利用具有最优参数的分类模型对光学元件的损伤进行分类，确定为入光面损伤或出光面损伤。本发明用于FODI系统中损伤识别与分类。

主权项

一种光学元件损伤所属表面的分类方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一：选取光学元件；步骤二：利用FODI系统采集光学元件真空隔离片的损伤在线图像，并在该光学元件真空隔离片通光口径范围内标记出所有的损伤点，每一个损伤点用特征向量表示；步骤三：对光学元件真空隔离片通光口径范围内的入光面与出光面逐一扫描，记录下损伤点位置与形态，作为离线数据；步骤四：使用几何变换把步骤三的离线数据匹配到步骤二采集的在线图像上，获得入光面与出光面损伤的训练样本集；步骤五：建立分类模型，采用训练样本集训练分类模型，获取分类模型的最优参数；步骤六：利用具有最优参数的分类模型对光学元件的损伤进行分类，确定为入光面损伤或出光面损伤。