[发明专利]表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃及其制备方法有效
| 申请号： | 201710304030.5 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN106946471B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 伏开虎;金扬利;邱阳;徐博;刘永华;赵华;祖成奎;何坤;王琪;陈玮;张瑞 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;C03C17/36 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃及其制备方法，其制备方法包括：1)清洗硫系玻璃基片，抽真空；2)采用电子束蒸发法在所述的硫系玻璃基片上制备增透膜；3)利用磁控溅射法在所述的增透膜上镀制类金刚石膜。本发明的制备方法在增透膜和类金刚石膜沉积过程中把温度控制在硫系玻璃转变温度以下，不显著改变硫系玻璃加工面形，不发生褶皱和非镀膜面烧蚀现象，附着性能好，能同时提高硫系玻璃的透过率和物理防护性能。 | ||
| 搜索关键词： | 硫系玻璃 制备 类金刚石膜 增透膜 表面镀 增透 类金刚石膜沉积 电子束蒸发法 褶皱 磁控溅射法 非镀膜面 附着性能 物理防护 抽真空 透过率 镀制 面形 烧蚀 清洗 加工 | ||
【主权项】：
1.一种表面镀有高增透类金刚石膜的硫系玻璃的制备方法，其特征在于，其包括:1）清洗硫系玻璃基片，抽真空；2）采用电子束蒸发法在所述的硫系玻璃基片上制备增透膜；3）利用磁控溅射法在所述的增透膜上镀制类金刚石膜；所述的增透膜为六层，其中所述的增透膜与类金刚石膜接触的一层为锗膜；所述的锗膜厚度为50nm。
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