[发明专利]一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器

摘要

本发明一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器及其制造方法。本发明通过使用阳极氧化铝模板在硅橡胶基底上引入团簇的纳米线结构，在其上面喷镀一层金属膜作为导电层，相对于无结构的基底极大地提高了柔性应力传感器的拉伸范围，同时传感器具有极高的灵敏度。本发明的传感器通过中间存在的纳米线结构减缓基底拉伸对顶部金属膜的影响，避免了金属膜贯穿性裂痕的产生和电阻值的急剧上升，从而提高基于金属膜的传感器拉伸范围。本发明的柔性应力传感器具有以下优点具有大的拉伸范围，最大可以探测130％的形变；极高的灵敏度，灵敏度参数(GaugeFactor)最高达到3.3×107，初始状态最小可探测0.015％的形变；制备流程简单，成本低。

主权项

一种柔性应力传感器，包括：基底，所述基底由柔性材料制成，并且至少一个表面的至少一部分上具有团簇纳米线的结构；导电层，所述导电层包括形成在所述基底的所述纳米线结构上的高导电率的膜；所述柔性应力传感器能够在外界拉力作用下发生弹性形变，其电阻值随着所述弹性形变而变化。