[发明专利]研磨机系统

摘要

本发明涉及一种研磨机系统。提供了一种能够适当地执行修整的研磨机系统。研磨机系统包括：主轴座(20)，其支承工件(W)能够旋转；磨轮(50)，其研磨工件(W)；修整器(60)，其修整磨轮(50)；传感器(100)，其对与由磨轮(50)研磨的工件(W)和除工件(W)之外的对象中任一个对应的研磨对象的表面粗糙度进行检测；以及控制装置(110)，其执行与修整磨轮(50)有关的控制。控制装置(110)基于通过传感器(100)检测到的研磨对象的表面粗糙度来确定：是否需要修整磨轮(50)；对磨轮(50)的修整是否被适当地执行；或在修整磨轮(50)之后直至下一次修整之前为止，经研磨的工件(W)的数目是否适当。

主权项

一种研磨机系统，包括：主轴座(20，620)，其支承工件(W)能够旋转；磨轮(50)，其研磨所述工件(W)；修整器(60)，其修整所述磨轮(50)；传感器(100)，其检测与由所述磨轮(50)研磨的工件(W)和除所述工件(W)之外的对象中的任一个对应的研磨对象的表面粗糙度；以及控制装置(110，310，510，710，910，1110，1310，1510，1710)，其执行与修整所述磨轮(50)有关的控制，其中，所述控制装置(110，310，510，710，910，1110，1310，1510，1710)基于通过所述传感器(100)检测到的研磨对象的表面粗糙度来确定：是否需要修整所述磨轮(50)；对所述磨轮(50)的修整是否被适当地执行；或在修整所述磨轮(50)之后直至下一次修整之前为止，经研磨的工件(W)的数目是否适当。