[发明专利]ZnPc/PbPc共混蒸镀薄膜二极管的制备与工作特性

摘要

ZnPc/ PbPc共混蒸镀薄膜二极管的制备与工作特性。近年来，单一的有机材料蒸镀有机薄膜晶体管被广泛的制作和研究。本发明是两种有机材料进行共混蒸镀制作的有机薄膜二极管，这两种有机材料分别为酞菁锌和酞菁铅(ZnPc和PbPc)。ZnPc/ PbPc共混蒸镀薄膜二极管的组成包括底衬底（1），ITO薄膜电极作为二极管的阳极（2），蒸镀的ZnPc和 PbPc的共混薄膜作为有源层（3），Al薄膜电极作为阴极（4），并且ZnPc和PbPc有3种不同的混合质量比，分别为11、45和54。本发明具有更高地电流密度和更宽地光感应波长带域，可以应用于光传感器的单元、光电传感器阵列器件等广阔的领域。

主权项

一种ZnPc/ PbPc共混蒸镀薄膜二极管的制备方法，其特征是：首先在干净的玻璃基板上利用磁控溅射形成ITO电极作为二极管的阳极，然后利用真空蒸镀的方法形成酞菁锌和酞菁铅的共混薄膜，最后利用磁控溅射形成铝电极作为阴极，成品中有机薄膜的厚度为120‑130nm。