[发明专利]用于化学机械研磨的固定环车削方法在审
| 申请号： | 201710236987.0 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108687361A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;梁泽民 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B1/00 | 分类号： | B23B1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于化学机械研磨的固定环车削方法，包括：提供环形本体和环形背板；将所述环形本体和环形背板通过胶水进行粘结，形成初始固定环，所述初始固定环具有加工表面；将所述初始固定环固定在夹具上；采用第一刀具对所述加工表面进行粗车削加工；采用第二刀具对所述加工表面进行半精车削加工；采用第三刀具对所述加工表面进行精车削加工，形成固定环。本发明车削方法形成的用于化学机械研磨固定环的质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 固定环 加工表面 化学机械研磨 车削 刀具 环形背板 环形本体 精车削 加工 夹具 胶水 粗车削 粘结 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械研磨的固定环车削方法，其特征在于，包括：提供环形本体和环形背板；将所述环形本体和环形背板通过胶水进行粘结，形成初始固定环，所述初始固定环具有加工表面；将所述初始固定环固定在夹具上；采用第一刀具对所述加工表面进行粗车削加工；采用第二刀具对所述加工表面进行半精车削加工；采用第三刀具对所述加工表面进行精车削加工，形成固定环。
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