[发明专利]卡盘工作台

摘要

提供卡盘工作台，即使封装基板是大张基板也容易进行操作保持治具的作业。卡盘工作台(3)具有保持治具(33)，其在正面(331a)上保持封装基板(P)并由薄板形状的金属板(331)形成；和治具基座(34)，其在上表面(34a)上将保持治具保持为装拆自如，该卡盘工作台能够在上表面上吸引保持封装基板。保持治具具有多个保持治具吸引孔(333)，它们贯穿金属板的正背面而形成并对各个器件(D)进行吸引保持。治具基座具有多个治具基座吸引口(341)，它们形成为比保持治具吸引孔的直径小并且比保持治具吸引孔的数量多。当将保持治具载置在治具基座的上表面上时，各保持治具吸引孔与治具基座吸引口连通。封装基板通过穿过治具基座吸引口从保持治具吸引孔作用的吸引力而被吸引保持在保持治具上。

主权项

一种卡盘工作台，其在上表面上对由分割预定线划分而形成有多个封装器件的封装基板进行吸引保持，其中，该卡盘工作台具有：保持治具，其在正面上对封装基板进行保持，该保持治具由薄板形状的金属板形成并构成为装拆自如；以及治具基座，其在上表面上对该保持治具进行保持，该保持治具具有：退刀槽，其形成在该金属板的正面的与封装基板的分割预定线对应的位置；多个保持治具吸引孔，它们在由该退刀槽划分出的区域内贯穿该金属板的正背面而形成，对各个封装器件进行吸引保持；以及树脂层，其包覆在该金属板的正面上，该治具基座具有：多个治具基座吸引口，它们在作为平坦面的上表面开口，形成为比该保持治具吸引孔的直径小并且比该保持治具吸引孔的数量多；以及吸引路，其将该治具基座吸引口与吸引源连通，当将该保持治具载置在该治具基座的上表面上时，各保持治具吸引孔与多个该治具基座吸引口连结，封装基板通过从该治具基座吸引口连通的吸引力而被吸引保持在该保持治具上。