[发明专利]一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法有效
| 申请号： | 201710182871.3 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106840615B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王锋;邹凯;陈天江;周彦卿;卢飞;雒仲祥;马立斌;余鸿铭;张永红 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法，该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台；装置在校准状态下，辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中；分光镜放置于光瞳测量位置后；共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路；CCD相机固定于电控平移台上；装置在测试状态下，移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑。该方案利用电控平移台改变CCD相机与共轭成像镜头目镜的距离S，实现对不同位置激光束光瞳的在线高精度扫描测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 成像 共轭 在线 测量 装置 校准 方法 | ||
【主权项】：
一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置，其特征是：包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台；所述装置在校准状态下，辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中；所述分光镜放置于光瞳测量位置后；所述共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路；所述CCD相机固定于电控平移台上；所述装置在测试状态下，移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑。
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